Canon: Teknologi Nanoimprinting dijangka akan menghasilkan 2nm Semikonduktor
Canon Corporation of Japan mengumumkan pada 13 Oktober pelancaran peralatan pembuatan semikonduktor FPA-1200NZ2C (NIL).Ketua Pegawai Eksekutif Canon Fujio Mitarai telah menyatakan bahawa teknologi nanoimprinting baru syarikat itu akan membuka jalan bagi pengeluar semikonduktor kecil untuk menghasilkan cip canggih, dan teknologi ini kini hampir dimiliki oleh syarikat terbesar dalam industri.
Apabila menerangkan teknologi nanoimprinting, Iwamoto Kazunori, ketua perniagaan peralatan semikonduktor Canon, menyatakan bahawa teknologi nanoimprinting melibatkan mencetak topeng dengan gambarajah litar semikonduktor ke wafer.Dengan hanya mencetak sekali pada litar wafer, kompleks dua dimensi atau tiga dimensi boleh dibentuk dalam kedudukan yang sesuai.Sekiranya topeng diperbaiki, walaupun produk dengan litar litar 2nm boleh dihasilkan.Pada masa ini, teknologi NIL Canon membolehkan linewidth minimum corak untuk sesuai dengan semikonduktor logik nod 5nm.
Dilaporkan bahawa industri peralatan pembuatan cip 5nm dikuasai oleh ASML, dan kaedah nanoimprinting Canon dapat membantu mempersempit jurang.
Dari segi kos peralatan, Iwamoto dan Takashi menyatakan bahawa kos pelanggan berbeza -beza bergantung kepada syarat -syarat, dan dianggarkan bahawa kos yang diperlukan untuk satu proses litografi kadang -kadang dapat dikurangkan kepada separuh peralatan litografi tradisional.Pengurangan skala peralatan nanoimprinting juga memudahkan pengenalan aplikasi seperti penyelidikan dan pembangunan.Ketua Pegawai Eksekutif Canon Fujio Mitarai telah menyatakan bahawa harga produk peralatan nanoimprinting syarikat akan menjadi satu digit lebih rendah daripada peralatan EUV (Extreme Ultraviolet) ASML, tetapi keputusan harga akhir belum dibuat.
Dilaporkan bahawa Canon telah menerima banyak pertanyaan daripada pengeluar semikonduktor, universiti, dan institusi penyelidikan mengenai pelanggannya.Sebagai produk alternatif untuk peralatan EUV, peralatan nanoimprinting sangat dinanti -nantikan.Peranti ini boleh digunakan untuk pelbagai aplikasi semikonduktor seperti memori flash, dram komputer peribadi, dan logik.